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機械工業雜誌

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半導體與光電產業設備技術專輯 2024年9月 498期

本期專輯期望能從半導體與光電技術應用中,挑選突破點與建立技術制高點,並與讀者們一同分享與交流,同時也希望能引起產學研各界之共鳴,大家一起投入發展,讓臺灣半導體與光電相關技術能持續進步與應用,帶動臺灣製造業之發展。
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半導體製程的小小晶片,其精細高效的關鍵,正是電漿與薄膜;而電漿品質影響著電漿製程產品的良率,其中最大的成本來自於研發過程中所耗費的人力及時間,且隨著製程精進這些人力與時間的成本也越來越高,因此,如何透過「模擬」與「預測」,來縮短研發過程並提升產品良率。

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