半導體與光電產業設備技術專輯 2024年9月 498期
半導體製程的小小晶片,其精細高效的關鍵,正是電漿與薄膜;而電漿品質影響著電漿製程產品的良率,其中最大的成本來自於研發過程中所耗費的人力及時間,且隨著製程精進這些人力與時間的成本也越來越高,因此,如何透過「模擬」與「預測」,來縮短研發過程並提升產品良率。
【2024年06月號495期】 機械淨零碳排技術專輯
【2023年09月號486期】 機械淨零碳排技術專輯
【2022年09月號474期】 機械淨零碳排技術專輯