由於未來十年台灣電子設備產業的發展前景持續看好，「半導體」、「次世代顯示」、「AI人工智慧與智慧製造系統」、「智慧檢測設備」、「設備關鍵零組件」這五大主軸將是台灣電子設備產業發展的重點方向，也是國內產業創新關鍵。近年來工研院機械所架構於厚實的技術能量，整合產、學、研跨領域，將扮演領頭羊的角色，結合台灣的精密機械、產業設備加工與相關零組件等產業一起進入高科技電子設備的領域，帶領台灣智慧機械產業轉型與升級。

光電半導體產業設備技術

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多重物理耦合技術_半導體鍍膜製程模擬分析的核心

良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，目前最關鍵的製程為巨量轉移，其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰，本期機械工業雜誌於「光電半導體產業設備技術專輯」中，介紹「多重物理耦合技術」，讓晶圓製程透明化，讓翹曲的晶圓告訴你應力的大小！