數位製造與檢測技術專輯 202110 463期
半導體製程良率再進化 電漿量測技術說給你聽
良率、成本為進入商業量產市場之關鍵,電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環,隨著元件尺寸不斷縮小,使用材料多元化,檢測技術日顯重要,電漿量測技術如何減少不良率產生?