隨著智慧製造發展日趨重要，產品精密度也大幅增加，全球檢測、檢驗與認證市場規模在2300億美元，以半導體產業為例，檢測設備產值約佔整體半導體設備產值之17%，隨著製程精密化與智慧化發展，檢測技術與設備之產值也將隨之增加。本期專輯期望能從數位製造與檢測技術中，挑選突破點與建立技術制高點，並與讀者們一同分享與交流，同時也希望能引起產學研各界之共鳴，大家一起投入發展，讓臺灣數位製造與檢測技術能持續進步與應用，帶動台灣製造業之發展。

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半導體製程良率再進化　電漿量測技術說給你聽

良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環，隨著元件尺寸不斷縮小，使用材料多元化，檢測技術日顯重要，電漿量測技術如何減少不良率產生？

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