半導體製程良率再進化　電漿量測技術說給你聽

良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環，隨著元件尺寸不斷縮小，使用材料多元化，檢測技術日顯重要，電漿量測技術如何減少不良率產生？