技術專題主編前言｜光電半導體產業設備技術專輯主編前言

本專輯是以光電與電子產業設備技術為主軸，產業透視部分特別邀請專家分享經驗和知識，邀請工研院產科國際所邱琬雯研究員就「光電半導體新應用及其設備產業發展趨勢」議題作探討，內容陳述，當LED微縮為Micro LED，為看好之次世代顯示技術，其高亮度、高對比、高反應速率及強光可視、強健耐候性之特性，在新興成長之顯示應用領域具有極大之優勢，然而良率、成本為進入商業量產市場之關鍵，目前最關鍵之製程為巨量轉移，其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰。此外，在檢測、缺陷修補亦是設備投入的重點，Micro LED為高度整合之產業，台灣具備LED、顯示器、半導體及電子設備之完整產業鏈，擁有厚實之技術實力，有機會在次世代顯示領域奪得一席之地。

在技術交流的部分，邀請相關領域研究人員，共同分享研究成果。光學系統所需之光學元件規格日趨嚴格，新的材料開發及可精確調控薄膜折射率之製程，已是目前光學多層干涉薄膜重要的研究方向。工研院機械所林士欽等人，探討「複合薄膜製程及多層膜特性分析技術」，文中探討應用於光學產業複合薄膜製程之高品質薄膜特性問題，輔以濺鍍薄膜的技術及特性量測實驗，尋找出最佳的製程參數，使用折射率漸變光學為正弦函數分佈的混合膜設計方法，取代傳統以高折射率及低折射率材料所構成之多層膜堆的光學濾光片，致使多層膜光學效能提升、殘留應力有效降低期使對薄膜製程及應用具有實際的助益。

全球智慧型手機領導廠商Apple在這兩年導入OLED面板於智慧型手機的應用，使得OLED材料、製程及設備等相關產業加速發展，同時也加速了OLED照明的發展。工研院機械所董福慶等人，介紹「長壽命色溫可調變OLED照明」技術，就色溫對人的影響與長壽命色溫可調變OLED及薄膜封裝技術發展進行介紹，主要強調色溫可調變OLED照明元件，其光色與色溫如同太陽光，從黎明低色溫變化至正午豔陽的高色溫，異於以窄波段藍光為主色之LED。

工研院機械所賴識翔等人，介紹「薄膜光學特性之分析模組」技術，內容陳述薄膜材料、元件結構及薄膜厚度等皆會影響OLED元件的特性，其中對於薄膜厚度要求特別的精準度，除了傳統採用石英振盪式膜厚監控系統監測鍍膜速率與膜厚變化外，開發具有高準確性的光學薄膜檢測方法來監控薄膜特性的變化，此法具有量測速度較快、非接觸薄膜表面與非破壞薄膜結構等特性，，可優化鍍膜製程及進行薄膜品質監控。