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機械工業雜誌

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｜應用於微晶矽薄膜製程中化學活性物種濃度即時回授控制研究

作者 黃振榮、張家豪

刊登日期：

- 射頻電容耦合電漿源中的電漿電位
- 單接面薄膜太陽電池轉換效率之提升

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