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機械工業雜誌

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｜次世代FPD大氣電漿光阻灰化系統

作者 謝文宗、蘇濬賢、鄭文欽、黃駿、劉志宏、許文通

刊登日期：

- 先進雷射技術製作光子晶體結構
- 全大氣壓環境下之整合光學膜片技術簡介
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