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機械工業雜誌

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｜高密度電漿源的模擬與量測分析

作者 董福慶、吳佩珊、陳家銘、林重勳、魏大欽、趙修武、吳慶輝

刊登日期：

- 應用3D多體積方法模擬LPCVD之氣流場
- 微光學結構元件於可撓式太陽電池之應用

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