｜軟電R2R製程設備傳輸動態分析與控制

摘要：應用軟性電子技術製造的可撓式顯示器、電子紙等早已不是新新聞，近幾年的顯示器展覽場上常有新的應用產品亮相。這些展示品未來要降低製造成本，以普及化到一般民眾手上，便需要透過R2R製程設備大量生產。本文將介紹R2R製程設備的動態分析與控制對策，以提升R2R設備精度與穩定度，從而提高產品品質與製程良率。

Abstract: Now, the flexible electronics technology in the application of flexible display and E-paper is not news. In recent years, new products often show up on the display exhibition. These showpiece need to cut down costs and mass-produce by the Roll to Roll process equipment so that it can available to all people in the future. This article will introduce the dynamic analyzing and control strategy of the Roll to Roll process equipment to increase the precision and stability of the R2R equipment and to improve the quality and process yield.

關鍵詞：軟性電子、卷對卷、R2R製程設備

Keywords：Flexible Electronics, R2R / Roll to Roll, Roll to Roll Process

前言
R2R製程設備挾著其高產能及低成本優勢，已被公認成是軟性電子產品的主流生產設備。近年來，美歐日韓等先進國家積極投入研發和異業結盟，使得軟性電子技術發展日漸成熟。國際大廠在展覽會場上除了發表電子紙等軟電產品應用資訊之外，也開始展示其用於商品化的相關製程設備，說明整合各式製程技術後，已經有辦法導入R2R設備進行量產。我國政府也於民國95年將軟性電子產業列入國家未來應該全力開發的新科技，藉以拓展國內電子與光電產業的新機會。同時在提升相關設備技術能力之時，可協助傳統產業轉型，創造產業附加價值。而能把軟性基材連續傳輸到各製程區加工的R2R製程設備，是所有軟電設備的基石。唯有厚植產業發展根基，才能掌握自主核心競爭力。

由R2R製程設備構成的生產線，會根據產品需求搭配不同的製程模組，以串聯的方式接續在一起，讓軟性基材在產線上連續不斷的輸送過程中便完成各項製程。如圖一所示，R2R製程設備主要是由放捲單元、製程區以及收捲單元三個部分所組成。軟性基材（簡稱軟板）以捲筒形式由放捲單元送入設備中，以滾輪連續傳輸軟板到製程區進行一道或接續的多道製程，再將已經完成製程的軟板，由收捲單元收成捲筒的形式。製程區可能包括用於軟板表面清潔及表面改質的設備，如電漿表面處理模組；用來製作微結構的壓印及蝕刻設備；用來完成封裝產品的軟板貼合模組；還有用於線上檢測等相關模組。