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｜應用於ZnO薄膜沉積系統中之雙通道氣體擴散裝置模擬分析

作者 張家豪、黃智勇、江銘通、張永光

刊登日期：

- CVD磊晶物理模型系統分析技術
- 原子層沉積技術的沿革

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