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摘要:近年來皮秒光纖雷射的發展受到極大的重視,與奈秒光纖雷射相比,皮秒光纖雷射可對絕大部分材料進行加工,且不會產生熱效應,因此可廣泛應用於電子、光電、生醫等領域。本篇擬介紹皮秒雷射應用於不同材料的加工實例,使讀者能充分瞭解其特性,進而加以應用、開發各種精密加工製程。
Abstract: In recent years, the picosecond fiber laser has greatly development especially compared to the nanosecond fiber laser scheme. There is no doubt that picosecond fiber laser has capabilities applied to versatile materials without inducing the thermal diffusion effects. It also can be widely used in electronics, opto-electronics fabrication processes, and even biomedical or other fields due to flexible application. In this paper, the briefly applications of the picosecond laser in different working piece technology will be characterized and disclosed.
關鍵詞:皮秒雷射、脈衝、加工
Keywords:Picosecond laser, Pulse, Processing
國內產業使用雷射之近況
目前國內業界主要使用長脈衝雷射加工,雷射之加工已被廣泛應用於精密機械加工方面,由於雷射具有非接觸加工方式,合適應用於許多製程之中,如TFT LCD壞點修補,LED晶粒切割,太陽能面板isolation、CIGS應用等,過去傳統的雷射應用多為金屬件、PCB等切割鑽孔,此方面的雷射特性為大功率且功率為連續式輸出,所要求之切割品質不高,而現在許多光電產品之加工所使用的雷射為奈秒級脈衝雷射,一些加工的熱效應問題仍然存在,在微細尺寸應用場合,已經逐漸浮現製程精度不易控制與成型區域周圍之材料物性受到改變,無法應用於目前產業界亟需解決的生產技術。
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