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｜淺談大面域濺鍍技術

作者 李侃峰、黃智勇、林冠宇、吳興華、黃建福

刊登日期：

- 應用3D多體積方法模擬LPCVD之氣流場
- MOCVD反應室內基板旋轉對流場之影響研究

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