｜卷到卷雷射掃描設備技術探討

摘要：隨著全球高功率、高精度及低維修率的雷射設備技術有長足進步，從而拓展雷射技術的應用範圍，雷射圖案技術已廣泛地應用於顯示器之電極圖案加工，本文主要針對雷射圖案製程結合捲繞式模組之相關技術主軸進行探討，期望建立台灣卷到卷雷射掃描設備相關應用技術，協助國產設備廠商提昇設備市場佔有率。

Abstract: With the rapid development of high power, high accuracy and the maintenance free laser technology and to expand the scope of its application laser patterning technique has been rapidly applied to electrode patterns in display.

This article describes the laser patterning process integrated with the Roll to Roll module we aims to establish the Roll to Roll laser scanning equipment and application technology to help domestic equipment manufacturer improve equipment market share.

關鍵詞：雷射圖案化、掃描振鏡、光路系統、卷到卷

Keywords：Laser Patterning, Scanner, Optical System, Roll to Roll

前言
以雷射圖案成形取代傳統黃光微影圖案製程，可將光阻塗佈、曝光、顯影、烘烤、蝕刻、去光阻等6道黃光製程簡化成單一道乾蝕刻圖案成形製程，乾式製程（減少污染性酸、鹼溶液的使用）、單一步驟（縮短製程時間）、設備建置及操作成本低、可快速且精確的直接轉換圖檔來變更加工圖案形貌等為雷射圖案成形技術主要優點，平面顯示器（FPD）、軟性顯示器（OLED）之電極圖案及太陽能電池PN junction隔離、劃線等製程為主要應用的產業；尤其在軟性顯示器製程上，所使用的軟性基板會因濕式製程的吸水率高、耐化學性差以及材料熱膨脹係數大等特性，而使得雷射圖案之乾式製程技術會有很大的應用潛力。[1][2]

雷射圖案技術發展現況簡介
目前所採用的雷射圖案成形技術主要以振鏡系統為主，又可分為單點直寫式與光罩投影式兩種，單點直寫式的技術選用的雷射源以單模雷射為主，其光路組成元件較簡單，雷射源部份主要使用脈衝頻率較高的固態雷射或光纖雷射，由於固態雷射具有較佳的空間同調性，可以利用聚焦鏡組將雷射光束聚焦到接近繞射極限的光斑尺寸（數微米），直接透過掃描鏡系統作圖案化加工，如圖1所示，此技術架構較為簡單，已廣泛應用於各種製程雷射加工。由於技術門檻較低，只要取得雷射源及鏡組，配合光路設計及設備機電系統整合，即可建構出相關製程設備。但如何掌控快速掃描及精確動態控制來與雷射光束的輸出做匹配，滿足產能及精度需求，為此技術困難點。