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作者:黃智勇、江銘通、張家豪、梁沐旺、張永光應用3D多體積方法模擬LPCVD之氣流場
作者:黃智勇、陳瑞祥、吳宗信、梁沐旺、江銘通、張永光大面積LPCVD氣流場模擬分析