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專輯名稱
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依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋,年份輸入範例202406
作者:王亘黼、黃智勇
電漿薄膜沉積預測與應力分析模組技術
近年來由於人力資源運用以及製造業升級議題,如何導入智慧製造概念,並提高生產品質和效率,已成為製造業關注重點。本文將介紹工研院機械所之電漿薄膜沉積建模分析技術,以機械所開發之電漿鍍膜設備作為測試驗證平台,採用電漿診斷手法,監測製程中射頻電漿源輸入功率、反射功率、以及電漿光譜強度等參數,對應薄膜厚度、成分之關係,建立薄膜沉積預測模型;另透過多重物理耦合技術,生成薄膜表面溫度與壓力分布值,將數值作為應力模型邊界條件,再以實驗資料驗證模擬分析生成曲面擬合法經驗公式,預測薄膜應力及翹曲量,其準確度可達≥ 90 %,滿足電漿薄膜智慧製造之產業應用目標。
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