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專輯名稱
文章名稱
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依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋,年份輸入範例202406
作者:黃仲寧、張柏毅
高速3D缺陷檢測
作者:卓嘉弘、顧逸霞、羅竣威、張柏毅、李正綱、李漢文、羅聖全
半導體先進封裝製程量測技術
在人工智慧等應用需求的推動下,半導體元件正趨於微小化。摩爾定律預測積體電路上的電晶體數量每18到24個月就會增加一倍。然而,隨著接近物理極限,微小化速度已經減緩,為了克服摩爾定律的限制,半導體廠商提出了深度摩爾和超越摩爾技術,其中深度摩爾專注於進一步縮小電晶體尺寸,而超越摩爾則強調電路設計和系統優化。因此針對先進封裝技術,本文介紹了四種非破壞性光學量測技術:微凸塊量測、重分布層量測、晶圓鍵合量測以及薄化晶圓和薄膜厚度量測,並探討了它們在先進封裝製程中的應用和未來展望。
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