:::
前往中央內容區塊
機械工業網
機械工業
會員登入
0
訂閱電子報
關於我們
機械網簡介
站長的話
虛擬展示館
展示館展品
技術介紹
聯絡我們
測試用
機械脈動
焦點報導
最新課程
近期展覽、研討會
專家觀點
電子報櫃
機械工業雜誌
當期雜誌
歷史雜誌
訂購雜誌
機器人與工具機叢書
優惠方案
廣告合作洽詢
研究與發展
智慧機械與機器人
先進綠能
智慧機電
智慧車輛
技術諮詢
影音專區
智慧機械與機器人
先進綠能
智慧機電
智慧車輛
直播影音
技術諮詢
大機械平台
大機械學研平台
企業人才媒合
場域實習
互通合聘
產學研計畫
訓練課程開發
Technical Introduction
About Us
News
Events
Videos
Contact us
:::
回首頁
機械工業雜誌
歷史雜誌
歷史雜誌
專輯名稱
文章名稱
年份
依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋,年份輸入範例202406
作者:張高德、林俊廷、陳鑾英
晶圓級光學透鏡專利分析
作者:翁志強、劉展羽、李祐昇、丁嘉仁、張高德
大氣電漿輔助鑽石拋光技術
單晶鑽石被認為是下一代功率元件的理想材料。在本文中,將使用以空氣為主要氣體和過氧化氫為反應前趨物的常壓等離子體系統生成羥基改質藍寶石拋光墊,再透過拋光機下承載盤的旋轉運動,使羥基改質後的藍寶石拋光墊與單晶鑽石表面發生反應,而達到單晶鑽石拋光的效果。為了證明所提出方法的有效性,在室溫下的大氣條件下,使用藍寶石拋光墊在無和有大氣電漿處理的情況下對鑽石進行拋光測試。透過表面形貌量測儀和白光干涉顯微鏡測量和評估材料去除率和表面粗糙度。驗證使用大氣電漿的材料去除率達0.9 μm/hr比沒有大氣電漿照射的材料去除率(0.085 - 0.12 μm/hr)高大約九倍。拋光後表面粗糙度從70 nm降低到5 nm。
第一頁
上一頁
下一頁
最尾頁
頁次:
1
2
資料總數:14
請選擇訂閱方式
請選擇訂閱方式
紙本長期:新訂戶(1年)
紙本長期:新訂戶(2年)
紙本+數位訂戶:新/續訂戶(1年)
電子長期:新/續訂戶(1年)
電子長期:新/續訂戶(2年)
單本零售:紙本
單本零售:電子
訂閱起始日:
送出
TOP