機械工業網

:::

歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:古鎮南、徐紹煜、林玉堃、黃德言多孔質氣靜壓銑削主軸之軸承性能分析

作者:古鎮南、徐紹煜、林玉堃、謝東洲氣靜壓磨削主軸之多孔質軸承技術

氣靜壓磨削主軸為精密機械的關鍵元件，在超精密磨削工具機與半導體設備等產業應用甚廣。有別於國內先前的開發案採用微孔式氣靜壓軸承，我們選用承載能力更高的多孔質氣靜壓軸承，欲了解多孔質軸承的性能，我們以單一柱塞之簡化模型來研究局部多孔質軸承的氣隙壓力，應用有限體積法及壓力與速度耦合之技術，藉由計算流力軟體分析在不同氣隙厚度及邊長的情況下的氣隙壓力分佈及平均壓力，以瞭解該等參數之變化對軸承性能之影響。

作者:林玉堃、丁嘉仁、張高德探討不同結合度的砂輪磨削於藍寶石晶圓之聲射訊號特徵

本研究分析5種不同結合度之鑽石砂輪，在氧化鋁晶圓薄化製程中其聲射訊號上之差異。實驗平台為立式輪磨加工機，每顆砂輪各進行3次進給量為200 μm的磨削減薄製程，擷取磨削過程的聲射訊號後進行訊號分析。分析訊號後，從原始訊號中擷取出7種特徵，觀察5種砂輪的特徵差異，與研磨過程的訊號特徵變化。比較各類特徵，發現磨損率 > 0.1的砂輪與第一次進行磨削的藍寶石晶圓，因晶圓表面粗糙度值較後續進行的兩次低，所以訊號特徵表現較其他兩次不同。相反的，較小的磨損率 < 0.05則較不受加工件表面粗糙度所影響。不僅從特徵訊號中歸納出砂輪的表面變化差異，而且驗證不同結合度在聲射訊號頻帶上的比率。

作者:林玉堃、陳佳盟、趙克傑、鄭貴元應用聲射訊號於藍寶石晶圓研磨之砂輪狀態監測

作者:古鎮南、林玉堃、徐紹煜、陳來毅高速滾珠主軸之流體黏滯阻尼抑振技術

阻尼抑振模組經常被使用在機械設備中作為減少振動的手段。阻尼抑振模組性能受到許多因素影響，包括:長度、直徑、徑向間隙、供油壓力、供油及排油機構、軸端密封、流體慣性、氣穴等。因此本文為詳述阻尼單元之規劃設計，內容包括：阻尼抑振模組簡介、阻尼抑振模組型式、阻尼抑振模組設計流程與計算、高速滾珠主軸阻尼抑振模組之開發，建立具阻尼抑振技術之高速主軸。