作者:王亘黼、黃智勇電漿薄膜沉積預測與應力分析模組技術
近年來由於人力資源運用以及製造業升級議題，如何導入智慧製造概念，並提高生產品質和效率，已成為製造業關注重點。本文將介紹工研院機械所之電漿薄膜沉積建模分析技術，以機械所開發之電漿鍍膜設備作為測試驗證平台，採用電漿診斷手法，監測製程中射頻電漿源輸入功率、反射功率、以及電漿光譜強度等參數，對應薄膜厚度、成分之關係，建立薄膜沉積預測模型；另透過多重物理耦合技術，生成薄膜表面溫度與壓力分布值，將數值作為應力模型邊界條件，再以實驗資料驗證模擬分析生成曲面擬合法經驗公式，預測薄膜應力及翹曲量，其準確度可達≥ 90 %，滿足電漿薄膜智慧製造之產業應用目標。