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薄膜製程優化模擬器技術(Thin Film Process Optimization Simulator Technology)
2024/10/21
可視化耦合技術:獨特表面化學反應路徑決策技術,精簡化學反應式後,再以真實數據回饋修正。
縮短設備開發時程:耦合出的模型結合巨量資料庫後,獲得建議最佳參數(1週縮短為2小時)。
提高產能與品質:提升鍍膜均勻性。
可導入應用:光電半導體產業(如:LED、半導體、太陽能、無線通信等元件),應用於鍍膜製程設備上(如:MOCVD、PECVD、PVD)。
Multiple Physics Coupling Technology:The unique "Surface Chemical Reaction Pathway Decision-Making Technology" simplifies the chemical equation and obtains real data feedback for correction.
Shortening the Equipment Development Timeline:A massive database obtains recommended optimal parameters (2 hours vs. 1 week).
Improving Productivity and Quality:Improving deposition uniformity.
Industry Applications:Thin film equipment, such as MOCVD、PECVD、PVD, in the Optoelectro nic Semiconductor Industry, such as LED, semiconductor, solar, and wireless communication.
可視化カップリング技術:独自の「表面化学反応パス意思決定技術」は、化学反応式を単純化した後、実際のデータでフィードバックや修正を行う。
装置の開発時間の短縮:カップリングしたモデルを巨大なデータベースに組み合わせ、最適推奨パラメータを得る( 通常1週間かかるところを2時間に短縮)。
生産能力と品質の向上:コーティングの均一性向上。
適用可能な産業:光電半導体産業(LED、半導体、太陽光発電、無線通信などのコンポーネント)、コーティングプロセス装置(MOCVD、PECVD、PVDなど)に適用される。
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