大氣壓電漿表面製程技術 2020/04/17

技術簡介

大氣壓電漿表面製程技術提供綠色環保製程，使用電漿進行活化、金屬氧化物還原、有機物蝕刻及鍍膜製程，相較於濕式化學製程，無廢液汙染問題，減少環境汙染。不需真空腔體及複雜儀器，一般環境即可產生電漿，節省製程設備成本。