高潔淨室環境用無人搬運車技術開發,結合單晶片控制器、磁感測模組與驅動控制模組等關鍵模組技術,開發國產化磁帶導引式高潔淨室無人搬運車,並通過半導體製造設備環境衛生安全(SEMI S2)認證。
無人搬運車規格。