鼓勵半導體製程設備 要有更好的策略 2020/05/11

作者：李家同／清華大學榮譽講座教授

我們是一個很重視半導體工業的國家，半導體工業有一個特色，那就是生產線上所用到的儀器種類特別多，而且都極為昂貴，動輒上億，售價高達幾十億的都有。這些昂貴的設備只有少數的國家會製造，這些國家也往往不生產半導體，可是他們掌握了製程的設備，可以予取予求，並且賺很多錢。

半導體設備開發以後，總需要在工廠內長時間的測試。一般的工廠是很難測試新設備的，因為這種設備必須要在生產線上測試，而生產線上生產得很順利，一旦用了一個新設備，萬一出問題，損失很大。

中國一直重視半導體設備的開發，他們有一個研發中心，專門測試自己開發的半導體製程設備。

這實在是非常好的做法，這個研究單位有完整的生產線，公司由很多企業和大學的研究單位合作，他們也購買了全世界所發展的最新設備。目前，這條生產線的設備國產化率到達1/4，這當然表示中國在半導體設備上仍然無法和歐美日相比，可是能有這樣的規模，應該是不錯了。

根據報導，中國在上海的那個研究中心顯然對於半導體工業是有非常徹底的了解。我們國家也有廠商在從事這類設備的開發，可是我們也必須承認，這種設備初次出廠以後，一定有很多的缺點，這些缺點必須經過測試以後才能慢慢去掉。如何幫助廠商測試，乃是國家的一個重要任務。

我們應該有很好的策略，使得我國在設備方面能夠更上一層樓。即使我們有了很好的自製設備，廠商都會面臨測試的問題，尤其現在看到中國對於測試設備顯然有很好的規劃，我們應該要提高警惕。

中國的做法顯示他們的設備廠商是受到政府鼓勵的，所謂鼓勵，不僅僅是在開發時有經費上的幫助，而且在開發完成後有拓展銷路的協助。政府不僅要幫助半導體製程設備的開發，對各行各業都應該有這種想法。除了科技產品認證的機制外，硬體和軟體都應該受到政府的認證，並且鼓勵國人使用這種經過測試的產品。

值得注意的是，韓國一直鼓勵廠商研究半導體製程所需要的設備，中國也一直做同樣的事。如果一個國家能夠有生產半導體的能力，但不能製造製程設備，而另外一個國家不僅會生產半導體，也有能力製造設備，可想而知的是，這個國家比較厲害得多。因為它的半導體製程可能用了非常特別的設備，這個設備是他們自己設計的，也可能不會賣到別處，它的製程也就會非常先進了。