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虛擬展示館展品

晶圓式離子能量量測模組（Wafer Type Ion Energy Diagnostic Module） 2024/10/21

  • 國內自有研發技術。
  • 本分析模組具有19個GiEA量測單元，用以量測晶圓上離子能量空間分佈情形。
  • GiEA（Gridded ion Energy Analyzer）量測單元具有低離子散射及高能量解析度能力，可大幅提升量測準確度。
    可導入應用：光電半導體電漿蝕刻、鍍膜設備及其製程開發。
  • Domestic own technology.
  • There are 19 GiEA units built on the wafer type ion energy diagnostic module, which can be used to measure the spatial ion energy distribution on processing wafer area.
  • The GiEA (Gridded ion Energy Analyzer) are low ion scattering effect and high energy resolution which can increase the measuring accuracy.
  • Industry Applications：Plasma etch/deposition equipment and process development for Semiconductor and Optoelectronic Manufacturing Industry.
  • 国内独自の研究開発技術。
  • この分析モジュールは、19個のGiEA測定ユニットを備えており、ウェハ上のイオンエネルギーの空間分布の測定に使われている。
  • GiEA（グリッドイオンエネルギーアナライザー）測定ユニットは、低イオン散乱分光法と高エネの解析能力を備えており、測定精度を大幅アップ。
  • 適用可能な産業：光電子半導体のプラズマエッチング、コーティング装置及びそのプロセス開発。
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