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焦點報導:半導體展
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2023.09.06
焦點報導
經濟部於2023半導體展發表52項前瞻技術 甫獲2023 R&D 100大獎之二奈米製程鍍膜設備首度亮相
經濟部今日於全臺最大半導體盛宴「2023 SEMICON TAIWAN」科專成果主題館開幕儀式中，宣布已成功開發出全球首創之複合式原子層鍍膜（Hybrid Atomic Layer Deposition, Hy-ALD）設備
半導體展
旭宇騰
Hy-ALD
複合式原子層鍍膜
鍍膜設備
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