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機械脈動:半導體薄膜設備

2022.06.27焦點報導

「先進半導體薄膜設備智慧製程系統」全球首創虛實整合數位雙生系統　助半導體製程數位化升級

全球半導體設備需求強勁，關鍵製程設備（鍍膜及蝕刻）佔比更高達45%，然而半導體製程中複雜的物理效應及化學反應像黑盒子。工研院「先進半導體薄膜設備智慧製程系統」可大幅提升臺灣半導體前段設備的自給率，也是全球首創將虛實整合數位雙生系統應用在半導體薄膜製程中。