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機械脈動:Hy-ALD

2023.09.06焦點報導

經濟部於2023半導體展發表52項前瞻技術　甫獲2023 R&D 100大獎之二奈米製程鍍膜設備首度亮相

經濟部今日於全臺最大半導體盛宴「2023 SEMICON TAIWAN」科專成果主題館開幕儀式中，宣布已成功開發出全球首創之複合式原子層鍍膜（Hybrid Atomic Layer Deposition, Hy-ALD）設備