｜應力瑕疵檢測技術在光電產業上的應用

摘要：本文是說明在光電產業中， 產品在製程裡會面臨到的殘留應力情形， 以及量測中心所發展出對應不同產品與製程所需之應力檢測技術。

Abstract: This article describes the residual stress induced in fabrication process of the optoelectronic devices and the needs for stress inspection. Moreover, development of diverse stress inspection technologies in the CMS ITRI are presented.

關鍵詞：應力、干涉儀、光彈

Keywords：Stress, Interferometer, Photoelasticity

前言
向具輕、薄、與可撓曲性（Flexible）之特性。然而在產品製造過程中，各種加工方法與環境變化均可能對於加工材料造成殘留應力。對於日益輕薄的光電產品來說，應力所造成的影響就更加不容忽視， 甚至對於製程良率有著關鍵性的影響。材料的殘留應力實際上會來自於玻璃材料的切割、薄膜的蒸鍍、材料的黏合與組裝固定等。 如果能在製程中即時找出材料應力累積最多或是集中的地方，就可在後續製程中減少因基板破裂或是膜層剝離等不良品出現，所造成停機的損失。本文將介紹量測中心目前針對各種樣本特性所發展的應力量測方法，有可針對薄膜應力量測的曲率法量測技術、可量測基板應力影像的高靈敏度應力量測技術，以及可量測堆疊膜層中的斷層應力量測技術。本文就以上三種常用應力量測技術分別介紹。