2023.07.11先進綠能

高深寬比濕式晶種層與銅填孔技術

結合電鍍銅藥液開發、流場分析技術、電化學分析技術與高深寬比銅電鍍治具設計等，能於深寬比15之玻璃基板上完成濕式晶種層與銅填孔製程，面銅厚度0.5 kN/m，填銅之孔隙<1 µm。

2023.07.11先進綠能

晶圓級探針卡技術

開發3D陶瓷電路板及微機電探針，取代環氧樹酯探針，探針精微化容易，提高一次測試晶粒數 (16 → 30或32)。結合微機電探針製程可發展模組化探針組裝技術，可將探針組裝由單根 / 次大幅提升百根 / 次以上，大幅減少組裝人力與成本。

2023.07.11先進綠能

薄膜製程優化模擬器與設備技術

目前精密鍍膜國內自主化技術正待建立，亟需解決 ALD 產能慢與 PECVD 薄膜緻密性低之問題，藉由多重物理耦合 結合 AI 技術，以降低設計模型的不確定性和搜尋最佳製程參數，協助工程師加速設定製程參數的時間，提升 Time-To-Market 的能力，優化縮短設備模組開發時程。

2023.07.11先進綠能

AI輔助研拋墊磨耗估測

在機器人研磨或拋光的加工過程中，往往無法線上量測研拋墊的狀態，藉由開發 AI 輔助研拋墊磨耗估測技術，解決加工品質不一及效率不彰的問題。

2023.07.11先進綠能

高精度PCB電測機

全自動印刷電路板電性測試設備，為專用型治具測試，設備包含自動進出料系統，測試平台具有4組CCD進行視覺辨識。

2023.07.11先進綠能

電漿精準離子能量分佈控制技術

整合多重物理耦合模擬分析，包含熱傳 / 氣流 / 電磁場 / 電漿 / 化學反應等，建立電漿製程反應數據資料庫且建構電漿診斷技術，包含蘭牟爾探針、GEA 離子能量分析模組及非侵入式射頻離子診斷等，以精準控制離子能量分佈，並優化加速電漿源開發時程。

2023.07.11先進綠能

高精度研磨加工技術

高精度與高效率傳動模組，為滿足精密零件加工需求，引進美國MOORE TOOLS的工模磨床(JG)、瑞士HAUSER的座標鏜床和STUDER的萬能內外圓磨床設備，進而追求更高品質的精密加工精度。

2023.07.11先進綠能

快速製造之霧化氣噴印微細圖案化系統

本技術自行開發霧化氣噴印圖案化技術，透過整合超音波霧化器、精密氣流限縮模組與高精度噴印頭，使得 2D/3D 電子線路產品在初期打樣時得以快速進行驗證， 縮短目前打樣階段所需耗費的冗長驗證時間，與昂貴的模具費用。

2023.07.11智慧機械與機器人

分散式派車管理系統

在無人搬運系統市場規模持續增長時，如何提高各式載重型AGV其運載效能一直是相關業者努力的目標。目前傳統式派車管理系統容易發生壅塞的情形和擴充不同車型的困難。分散式派車管理系統以優化派車系統中的交管邏輯為主要技術，以利提升運載效率。

2023.07.11智慧機電

智慧型運動控制平台

IMP-3內建微處理器(Dual-core ARM Cortex-A9)，具8軸伺服馬達開迴路或閉迴路同動控制能力，提供硬體PID與FeedForward位置閉迴路控制法則，解決追隨誤差與穩態誤差問題；亦可選配硬體3D編碼計數器比較栓鎖值與龍門雙軸跟隨誤差補償功能。位置閉迴路控制採用PID控制法則，以-10V至10V之速度命令驅動；在脈波輸出控制，可讀回馬達編碼器值。

2023.07.11智慧機電

全數位軟體運動控制平台

EMP-S以EtherCAT通訊作為基礎，使用者透過乙太網路傳送資料封包至EtherCAT從站(例如：伺服驅動器、周邊I/O模組)進行資料交換，在通訊架構上為分散式時脈(DC)，提供一相容於 EtherCAT通訊協定的運動控制函式庫(MCCL)，可以讓驅動器及I/O模組的命令更新週期達到250 μs，保證各從站間同步誤差小於1 μs；有別於傳統運動控制系統，EMP-S不需額外的硬體，只需透過標準網路卡即具備多軸運動控制能力，並在配線上具有彈性及靈活等優勢。

2023.07.11智慧機電

內藏直驅旋轉電機模組

本模組為內藏式電機，可與機構配合，直接驅動，透過優化的電機設計可產生高扭矩，降低轉矩漣波，不須經由皮帶或減速齒輪，無背隙問題，可提高加工機台響應速度與精準度，提升整體製程效率。

2023.07.11智慧機電

超音波控制器

工研院機械所開發之4 kW 20 kHz 智慧型數位式超音波控制器UW-20，具自動頻率補償及振幅控制功能，無須搭配特定廠牌震盪子，即可達到自動搜尋操作頻率功能。

2023.07.11智慧機電

精準作業無人機

具伺服雙軸控制之定向噴灑功能無人機，在空中可精準控制噴灑頭，將目標物之髒汙清洗乾淨。應用如電塔礙子清洗維運與商業大樓牆面清洗、風機維運。克服須使用大型直升機或人工攀爬至高空的危險作業，具快速派工、靈敏作業、高效率的特色。

2023.07.11智慧機電

多用途高續航無人機

四軸八槳高續航無人機，動力具備冗餘設計，最多4顆馬達停止下可安全降落。飛控模組透過減振設計，搭配FHSS通訊技術提高抗干擾與穩定飛行能力。機身下方配置模組化快拆設計機構，實現多種功能酬載快速切換，及多用途特色。整機已導入物流遞送、風機葉片巡檢及地磁探勘等實際應用飛行調校，具安全與穩定性。